面的垂直度和平行度的計算結果是兩個平行平面之間的區域，而不是通常意義上理解的角度。
測量時，先分別測量被評定平面和基準平面，然后通過相應的三坐標測量軟件的垂直度或平行度功能計算出相應結果。為了使測量結果更準確、可靠，我們需注意以下幾點：
1.因為造成測量時方向矢量變化的原因是存在有重復性誤差，而且當測量的面比較窄時。所以要盡量避免這種情況，盡量使測量面的范圍大一些。
2.在無法避免的時候，要適當增加測量點數，以求避免個別測點影響方向矢量的情況。這種方法也適合測量小于1/4 圓的圓弧的情形。
3.用測量面對線或線對線的方法替代面對面的測量方法。這種方法需要測量的方向和測量長度方向一致，比較真實的反映零件的真實情況而不會放大測量誤差。并且通過計算角度可以直觀的了解零件誤差產生原因，便于提供返修意見。在一條線不能反映全部垂直或平行的時候，可以根據需要多測量幾條線。注意：要計算線與線垂直度或平行度時，應將線投影至公共平面。
以上是對面的垂直度或平行度三坐標測量的一些探討。隨著三坐標測量機軟件的發展，可能會對以上問題有更好的解決方法。