三坐標測量機在測量前要對測頭進行校正，因為測頭有自己的尺寸，而測量零件的不同位置可能是用測頭的不同位置去接觸測量的，因此，測量的數據中含有測頭自己的數值，而測頭校正就是測量測頭自己尺寸大小的過程。測頭的部分因為本身精度，例如紅寶石測頭,直徑上不可能和理論值完全一樣,需要用標準球來得到精確直徑,方便進行精確半徑補償.本身裝配測頭引起OFFSET的誤差,也不會和理論值一樣,偏移位置也需要校正,以取得紅寶石中心正確的空間位置。只是觸發測頭主要校驗上面的兩個部分,如果是掃描測頭,還需要有一個掃描的校驗。西安愛德華測量設備股份有限公司的工程師認為，具體的三坐標測量機測頭校正步驟如下:
1、確認測座安裝方向與三次元測量儀坐標軸方向一致，如果拆卸了測座，要進行找正。
2、測座固定牢靠，測頭、測針的安裝牢靠（安裝應使用工具），寶石球清潔、無破損，加長桿安裝長度與測頭或吸盤的負載能力協調。
3、標準球與臺面(或支撐）固定牢固，各連接關節緊固。球體無損傷，表面清潔
4、軟件中三坐標測座、測頭、加長桿、測針設置正確（測桿長度輸入正確），測頭使用位置定義正確（避免使用時發現缺項，寧多無少）。標準球直徑輸入正確（必須是校準證書或合格證中的真實值），測頭校正速度設置與測量時一致。
5、單個測頭位置校正，注意觀察三次元測量儀測針直徑和標準偏差，三坐標測針直徑應與平時校正相近且重復性好，標準偏差盡量小，（測頭前加長桿長時，直徑小，偏差大）
6、多個三坐標測頭位置校正時，除要觀察以上結果外，還要用校正后的各個三坐標測頭位置測量標準球，觀察球心坐標值的變化，數值應與示值誤差或探測誤差相近。
7、使軟件得到三次元測量機測針寶石球的“等效直徑”，自動進行“測頭半徑的補償”。