對于非接觸式觸發測頭誤差來源：由于光學光線的干涉和衍射現象。
常規接觸式測頭是由紅寶石材料做成,優點是接觸變形和側向摩擦小,缺點是接觸力造成的局部彈性變形及安裝測球的測桿產生的彎曲變形很大,以及存在“各向異性”、“開關行程”、“開關行程分散性”、“復位死區”等誤差。目前市售的這類測頭的重復性精度只能達到微米及零點幾微米,使測量機整體測量的精度不能再得到提高。
非接觸測量的特點就是測量力為零,但光學式非接觸式測頭由于光線的干涉和衍射現象,其測頭精度只在微米量級。目前出現的幾種非接觸式光學測頭如瞄準顯微鏡測頭、光學點位測頭和電視掃描測頭都是現有技術在三坐標測量機上的應用 ,其結構復雜,應用范圍非常狹小。