光柵是三坐標測量機的長度基準。光柵由光柵尺及讀數頭兩部分組成，光柵尺上有著均勻排列的刻線，讀數頭上有讀數光柵以及發光二極管和硅光電池。 光柵的讀數原理是讀數頭與光柵尺分別裝在兩個相對運動的載體上，利用光柵尺與讀數頭間的相對運動來得到兩個載體間相對的位移。
光柵分類
光柵可以分為閉式光柵和開式光柵。閉式光柵：為了防塵，把光柵及讀數頭組合并封閉在鋁長盒內；開式光柵：光柵及讀數頭均暴露在空氣中。
光柵還可分為絕對光柵和相對光柵。絕對光柵：讀數頭在光柵的任一位置，其讀數均是固定的；相對光柵（增量式光柵）：讀數頭在任一位置的讀數并不一定，和所設的零點位置或預置點的讀數有關，任一位置的讀數皆是從所設點（零點或預置數）按增減脈沖的計數來顯示位置。