光柵是三坐標測量機的長度基準。光柵由光柵尺及讀數頭兩部分組成,光柵尺上有著均勻排列的刻線,讀數頭上有讀數光柵以及發光二極管和硅光電池。 光柵的讀數原理是讀數頭與光柵尺分別裝在兩個相對運動的載體上,利用光柵尺與讀數頭間的相對運動來得到兩個載體間相對的位移。

光柵分類
光柵可以分為閉式光柵和開式光柵。閉式光柵:為了防塵,把光柵及讀數頭組合并封閉在鋁長盒內;開式光柵:光柵及讀數頭均暴露在空氣中。
光柵還可分為絕對光柵和相對光柵。絕對光柵:讀數頭在光柵的任一位置,其讀數均是固定的;相對光柵(增量式光柵):讀數頭在任一位置的讀數并不一定,和所設的零點位置或預置點的讀數有關,任一位置的讀數皆是從所設點(零點或預置數)按增減脈沖的計數來顯示位置。