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影響激光干涉儀測量精度的主要因素

2014-01-17 14:34:18  來源:西安愛德華測量設備股份有限公司  點擊:

影響激光干涉儀測量精度的主要因素如下:1)激光頻率穩定性 在激光干涉儀中,將激光波長作為長度基準,激光頻率變化直接影響測量結果。2)大氣折射率3)死程誤差 在零位時,激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差

影響激光干涉儀測量精度的主要因素如下:
1)激光頻率穩定性 在激光干涉儀中,將激光波長作為長度基準,激光頻率變化直接影響測量結果。
2)大氣折射率
3)死程誤差 在零位時,激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差,這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差,死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。
4)余弦誤差 在測定三坐標測量機的定位誤差時,需仔細調整,使光束與滑座的運動方向平等。
5)脈沖當量誤差 激光干涉儀顯示的較小一個數所對應的量值稱為脈沖當量。
6)細分誤差 在干涉條紋一個周期內由插細分不均勻引起的誤差。
7)阿貝誤差 為避免阿貝誤差,需將角隅棱鏡的頂點調整到所測的直線上,否則由于滑座的角運動誤差引起阿貝誤差。
在三坐標測量機的定位誤差測量中,通常選用商品激光干涉儀。頻率穩定性、細分誤差由激光干涉儀性能決定。在調整、測量中要注意減小大氣折射率、死程誤差、余弦誤差、脈沖當量、阿貝誤差等帶來的影響。

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