三坐標測量儀做為一種精密的測量儀器，如果維護及保養做得及時，就能延長機器的使用壽命，并使精度得到保障、故障率降低。使用時要注意以下事項:
1、環境：三坐標測量儀要求在恒溫下使用;
2、清潔：如工作臺的清潔、導軌的清潔等;
3、操作時需要注意，三坐標測量儀感應頭接觸實物的力度;測量工件時，如果中間休息，要把z軸移到下面沒有工件的位置。
4、還有一些平時的保養，比如：三坐標測量儀動作部位的清潔度，潤滑情況等，嚴禁用脫脂棉清洗導軌，以防止棉絨進入氣浮塊中。保養過程中不能給任何導軌加任何性質的油脂。為保持室內濕度，不要用濕拖把拖地。不要使用壓縮空氣來清理三坐標測量儀，壓縮空氣可能導致污垢、金屬片等影響空氣軸承的正常工作。