三坐標測量機的功能主要由三坐標測量軟件決定。三坐標測量機的操作、使用的方便性，也首先取決于軟件，測量機每一項新技術的發展，都要有相應配套的軟件技術跟上。為了將三坐標測量機納入生產線，需要發展與網絡通信、建模、CAD、實現反向工程的軟件；按樣條函數、NURBS 等進行擬合、建模以及各種仿真軟件也在不斷發展。此外，加快普及使用通用測量軟件（DMIS）以方便與CAD/CAM 的數據交換；同時完善應用于不同類型工件之專用測量軟件的開發和使用，形成基于同一種平臺開發的測量軟件族也成為軟件革新的一種必然趨勢。
可以說三坐標測量軟件是三坐標測量機中發展迅速的一項技術。軟件的發展將使三坐標測量機向智能化的方向發展，它至少將包括能進行自動編程、按測量任務對測量機進行優化、故障自動診斷等方面的內容。
